簡易鏡座式大口徑高速壓電振鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020559574.X 申請日 -
公開（公告）號 CN201903693U 公開（公告）日 2011-07-20
申請公布號 CN201903693U 申請公布日 2011-07-20
分類號 G02B26/08(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 張小軍;官春林;胡羿云;葉青秀;饒長輝;姜文漢 申請（專利權）人 成都邁科高技術開發(fā)有限責任公司
代理機構 四川省成都市天策商標專利事務所 代理人 成都邁科高技術開發(fā)有限責任公司
地址 610000 四川省成都市武青南路33號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種簡易鏡座式大口徑高速壓電振鏡，包括鏡面、鏡座、柔性頭、驅動器、位置傳感器和底座，其中鏡面無應力粘結在鏡座之上，鏡座下方與柔性頭相連，驅動器下端固定于底座之上，驅動器上端粘有柔性頭，位置傳感器固定于底座中部上方同時位于鏡座下方，用于感知鏡面的實際轉角位置，驅動器為壓電堆驅動器，并且有一對，分別安裝在鏡座的兩側，工作時互做反方向運動，鏡座分為彈性結構和剛性結構，剛性結構位于鏡面下方并直接與鏡面粘接，彈性結構與柔性頭相連。本實用新型的壓電堆驅動器具有大的負載能力和快速響應能力，能實現(xiàn)高速振鏡的大通光口徑、高工作頻率、較大轉角范圍等要求，彈性結構和剛性結構非常簡單。