硅片的輸送裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110706520.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113451187A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113451187A 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 謝建;楊凡;劉永才 申請（專利權(quán)）人 深圳市創(chuàng)一智能裝備有限公司
代理機構(gòu) 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳宇;張穎玲
地址 518104廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道步涌社區(qū)大興二路14號一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種硅片的輸送裝置，涉及硅片的制備領(lǐng)域。該輸送裝置包括：主動帶輪；傳送帶，套設(shè)于主動帶輪的外部，且沿傳送帶的延伸方向間隔設(shè)置有多個用于承載硅片的托塊；其中，主動帶輪能夠周期性地旋轉(zhuǎn)，以帶動托塊沿傳送帶的延伸方向周期性地運動，且主動帶輪在各周期內(nèi)的轉(zhuǎn)角與主動帶輪的半徑的乘積，等于相鄰的托塊的間距。這種輸送裝置能實現(xiàn)對硅片的長距離的踏步傳輸。