一種載板的定位裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110660491.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113394152A 公開（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113394152A 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) H01L21/68（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 謝建;余玲瓏;劉永才 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市創(chuàng)一智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳宇;張穎玲
地址 518104廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道步涌社區(qū)大興二路14號(hào)一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種載板的定位裝置，包括傳送裝置和阻擋裝置，傳送裝置沿第一平面?zhèn)魉洼d板，多個(gè)阻擋裝置可設(shè)置在預(yù)設(shè)區(qū)域，用于朝向設(shè)定方向運(yùn)動(dòng)以抵靠載板至少兩個(gè)相對(duì)的邊緣，接著阻擋裝置沿第一平面相向推動(dòng)載板以使載板中相鄰子載板抵靠在預(yù)定位置。本發(fā)明實(shí)施例中阻擋裝置通過(guò)朝設(shè)定方向運(yùn)動(dòng)以抵靠載板的相對(duì)邊緣，阻擋裝置可沿第一平面相向推動(dòng)邊緣處的多個(gè)子載板，子載板又推動(dòng)相鄰子載板共同運(yùn)動(dòng)，直到所有子載板均與相鄰的子載板抵靠，實(shí)現(xiàn)載板整體的定位，從而準(zhǔn)確確定了各個(gè)子載板的位置，降低了硅片取放的難度。