一種正交性自動(dòng)測(cè)量、補(bǔ)償系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121158522.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214951119U 公開（公告）日 2021-11-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN214951119U 申請(qǐng)公布日 2021-11-30
分類號(hào) G01B11/00（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I;G06T7/70（2017.01）I;G06K9/62（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 丁寧;潘鈺 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇富港智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京恒和頓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 沈楊
地址 210000江蘇省徐州市睢寧縣雙溝鎮(zhèn)臨空大道與安瀾大道交叉口
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種正交性自動(dòng)測(cè)量、補(bǔ)償系統(tǒng)，包括運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)側(cè)壁固定連接有X軸導(dǎo)軌和Y軸導(dǎo)軌，所述X軸導(dǎo)軌側(cè)壁滑動(dòng)連接有視覺系統(tǒng)，所述Y軸導(dǎo)軌側(cè)壁滑動(dòng)連接有標(biāo)定板。本實(shí)用新型通過設(shè)置視覺系統(tǒng)和標(biāo)定板，使得X軸導(dǎo)軌和Y軸導(dǎo)軌的相對(duì)運(yùn)動(dòng)由相機(jī)抓取并和標(biāo)定板對(duì)比，使得X軸導(dǎo)軌和Y軸導(dǎo)軌就會(huì)被補(bǔ)償為垂直，提高了工作效率，通過設(shè)置高精度標(biāo)定圖案的精度為1um，使得相機(jī)抓取的X軸導(dǎo)軌和Y軸導(dǎo)軌的相對(duì)運(yùn)動(dòng)與高精度標(biāo)定圖案進(jìn)行比對(duì)時(shí)，精度更高，使得X軸導(dǎo)軌和Y軸導(dǎo)軌之間的誤差更小，提高曝光精度和質(zhì)量。