一種半導體芯片生產(chǎn)用浸蝕裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202022328355.7 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN213988829U | 公開(公告)日 | 2021-08-17 |
申請公布號 | CN213988829U | 申請公布日 | 2021-08-17 |
分類號 | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 凌永康;何於;林志銘 | 申請(專利權)人 | 江蘇晶度半導體科技有限公司 |
代理機構 | 北京卓嵐智財知識產(chǎn)權代理事務所(特殊普通合伙) | 代理人 | 蔣真 |
地址 | 212400江蘇省鎮(zhèn)江市句容市開發(fā)區(qū)崇明西路102號8號樓 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型公開了一種半導體芯片生產(chǎn)用浸蝕裝置,包括浸蝕箱體,所述浸蝕箱體的內表面上固定安裝有兩個對稱的安裝板,其中一個所述安裝板的表面上設有第一安裝槽,另一個所述安裝板的表面上設有第二安裝槽,所述第一安裝槽與所述第二安裝槽內安裝有豎直的第一移動機構,所述第一移動機構上安裝有第二安裝板,所述第二安裝板上設有方形的第三安裝槽,所述第三安裝槽內固定安裝有水平的第二移動機構,所述第二移動機構的下方固定安裝有伺服電缸,該半導體芯片生產(chǎn)用浸蝕裝置設有的第一移動機構便于在浸蝕箱體內上下進行移動,設有的第二移動機構在浸蝕箱體內水品移動,安裝的伺服電缸便于調整放置盒的位置,便于浸蝕。 |
