一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)用浸蝕裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022328355.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213988829U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213988829U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-17 |
| 分類號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 凌永康;何於;林志銘 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇晶度半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京卓嵐智財(cái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 蔣真 |
| 地址 | 212400江蘇省鎮(zhèn)江市句容市開(kāi)發(fā)區(qū)崇明西路102號(hào)8號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)用浸蝕裝置，包括浸蝕箱體，所述浸蝕箱體的內(nèi)表面上固定安裝有兩個(gè)對(duì)稱的安裝板，其中一個(gè)所述安裝板的表面上設(shè)有第一安裝槽，另一個(gè)所述安裝板的表面上設(shè)有第二安裝槽，所述第一安裝槽與所述第二安裝槽內(nèi)安裝有豎直的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)上安裝有第二安裝板，所述第二安裝板上設(shè)有方形的第三安裝槽，所述第三安裝槽內(nèi)固定安裝有水平的第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的下方固定安裝有伺服電缸，該半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)用浸蝕裝置設(shè)有的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)便于在浸蝕箱體內(nèi)上下進(jìn)行移動(dòng)，設(shè)有的第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)在浸蝕箱體內(nèi)水品移動(dòng)，安裝的伺服電缸便于調(diào)整放置盒的位置，便于浸蝕。 |
