線掃描共聚焦反射式成像裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111510535.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114199768A 公開（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114199768A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) G01N21/01（2006.01）I;G02B26/10（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 冷冰;劉航;王新忠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 濟(jì)南國(guó)科醫(yī)工科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓玲
地址 250000山東省濟(jì)南市高新區(qū)綜合保稅區(qū)港興三路北段1號(hào)濟(jì)南藥谷研發(fā)平臺(tái)區(qū)3號(hào)樓401房間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種線掃描共聚焦反射式成像裝置，包括：目鏡、掃描透鏡、掃描振鏡、分光片、柱面鏡、狹縫、線陣相機(jī)、激光器以及成像裝置；所述激光器發(fā)出的激光通過所述柱面鏡后，點(diǎn)光源被轉(zhuǎn)換為線光源，然后透射所述分光片到達(dá)所述掃描振鏡，再依次通過所述掃描透鏡、目鏡后到達(dá)樣品表面；樣品反射的光依次通過所述目鏡、掃描透鏡、掃描振鏡后被所述分光片反射，經(jīng)過所述狹縫后被所述線陣相機(jī)采集，最后在所述成像裝置中進(jìn)行成像。本發(fā)明通過柱面鏡將點(diǎn)光源轉(zhuǎn)換為線光源后，藉由高速振鏡的掃描作用，使用線陣相機(jī)采集到樣本反射光，能實(shí)現(xiàn)快速反射成像；本發(fā)明通過設(shè)置可電動(dòng)控制的遮光機(jī)構(gòu)提供暗室成像環(huán)境，能夠提高成像效果，且操作方便。