一種晶圓生產(chǎn)用中繼模塊的機(jī)械手
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022811411.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213752666U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213752666U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-20 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/683（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 唐正隆;吳星華;任碩;劉同同 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 合肥開(kāi)悅半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京圣州專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓生產(chǎn)用中繼模塊的機(jī)械手，包括一體對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)的本體，所述本體中心的固定孔外側(cè)設(shè)有均勻分布的減重槽，所述本體的外沿設(shè)有呈正六邊形分布的條形支撐部，所述支撐部設(shè)置于所述減重槽的外側(cè)，且二者的中心位于同一條直線(xiàn)上，所述支撐部之間通過(guò)平滑的曲線(xiàn)結(jié)構(gòu)連接；所述支撐部的外沿和中部分別設(shè)有位于同一個(gè)圓上的第一吸盤(pán)、位于同一個(gè)圓上的第二吸盤(pán)，所述第一吸盤(pán)下方的凸臺(tái)高度高于所述第二吸盤(pán)的凸臺(tái)高度。本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)的一種晶圓生產(chǎn)用中繼模塊的機(jī)械手，提高穩(wěn)定性，增加使用效率，節(jié)約成本。 |
