一種晶圓生產(chǎn)用中繼模塊的機(jī)械手

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022811411.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213752666U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213752666U 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 唐正隆;吳星華;任碩;劉同同 申請（專利權(quán)）人 合肥開悅半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王振佳
地址 230000安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓生產(chǎn)用中繼模塊的機(jī)械手，包括一體對稱結(jié)構(gòu)的本體，所述本體中心的固定孔外側(cè)設(shè)有均勻分布的減重槽，所述本體的外沿設(shè)有呈正六邊形分布的條形支撐部，所述支撐部設(shè)置于所述減重槽的外側(cè)，且二者的中心位于同一條直線上，所述支撐部之間通過平滑的曲線結(jié)構(gòu)連接；所述支撐部的外沿和中部分別設(shè)有位于同一個圓上的第一吸盤、位于同一個圓上的第二吸盤，所述第一吸盤下方的凸臺高度高于所述第二吸盤的凸臺高度。本實用新型采用上述結(jié)構(gòu)的一種晶圓生產(chǎn)用中繼模塊的機(jī)械手，提高穩(wěn)定性，增加使用效率，節(jié)約成本。