一種可兼容多種尺寸晶圓傳送手臂

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122115936.7 申請日 -
公開（公告）號 CN215433719U 公開（公告）日 2022-01-07
申請公布號 CN215433719U 申請公布日 2022-01-07
分類號 B25J11/00（2006.01）I;B65G47/91（2006.01）I;B65G49/07（2006.01）I;B25J15/06（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 唐正隆;王正輝;吳星華;儲長流;張立 申請（專利權(quán)）人 合肥開悅半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉巖
地址 230093安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種可兼容多種尺寸晶圓傳送手臂，包括臂體，所述臂體的安裝端設(shè)置有安裝孔，所述臂體的承載端開設(shè)有第一承載槽、第二承載槽以及調(diào)節(jié)槽，所述第一承載槽、所述第二承載槽以及所述調(diào)節(jié)槽同心設(shè)置，所述調(diào)節(jié)槽的中部設(shè)置有升降吸附固定機(jī)構(gòu)，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)對稱設(shè)置有調(diào)節(jié)承載機(jī)構(gòu)。采用上述結(jié)構(gòu)的一種可兼容多種尺寸晶圓傳送手臂，適用于多種尺寸的晶圓傳送，結(jié)構(gòu)簡單，定位可靠，提高了設(shè)備的兼容性。