一種多功能型晶圓傳送手臂

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022811966.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213731811U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213731811U 申請公布日 2021-07-20
分類號 B25J15/00 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設備；機械手;
發(fā)明人 唐正隆;吳星華;任碩;汪麗靜 申請（專利權）人 合肥開悅半導體科技有限公司
代理機構 北京圣州專利代理事務所（普通合伙） 代理人 王振佳
地址 230000 安徽省合肥市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多功能型晶圓傳送手臂，包括本體，所述本體的前端設有圓弧形夾持臂，其后端設有固定部，所述夾持臂末端的兩側設有與所述固定部連接的向內(nèi)凹的弧形凹槽，所述夾持臂的寬度不大于所述固定部的寬度，所述夾持臂寬邊的兩側設有對稱設置的平端；所述固定部的中部設有第一減重槽，所述夾持臂的后端設有與所述固定部連接的第二減重槽，所述夾持臂的弧形結構前端的下方設有環(huán)形延長板，所述延長板、所述夾持臂的兩端和中部均設有夾持頭。本實用新型采用上述結構的一種多功能型晶圓傳送手臂，結構簡單，操作方便，實現(xiàn)多種類型晶圓的傳送。