一種多功能型晶圓傳送手臂
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022811966.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213731811U | 公開（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213731811U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-20 |
| 分類號(hào) | B25J15/00 | 分類 | 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 唐正隆;吳星華;任碩;汪麗靜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥開悅半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 230000 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種多功能型晶圓傳送手臂，包括本體，所述本體的前端設(shè)有圓弧形夾持臂，其后端設(shè)有固定部，所述夾持臂末端的兩側(cè)設(shè)有與所述固定部連接的向內(nèi)凹的弧形凹槽，所述夾持臂的寬度不大于所述固定部的寬度，所述夾持臂寬邊的兩側(cè)設(shè)有對(duì)稱設(shè)置的平端；所述固定部的中部設(shè)有第一減重槽，所述夾持臂的后端設(shè)有與所述固定部連接的第二減重槽，所述夾持臂的弧形結(jié)構(gòu)前端的下方設(shè)有環(huán)形延長板，所述延長板、所述夾持臂的兩端和中部均設(shè)有夾持頭。本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)的一種多功能型晶圓傳送手臂，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，實(shí)現(xiàn)多種類型晶圓的傳送。 |
