一種適用于多種型號晶圓的感應(yīng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122115813.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215338369U 公開（公告）日 2021-12-28
申請公布號 CN215338369U 申請公布日 2021-12-28
分類號 G01D5/26（2006.01）I;G01D11/00（2006.01）I;G01D11/30（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 唐正隆;王正輝;吳星華;儲長流;張立 申請（專利權(quán)）人 合肥開悅半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉巖
地址 230093安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種適用于多種型號晶圓的感應(yīng)裝置，包括晶圓承載板、發(fā)射接收機(jī)構(gòu)、固定支架以及反射機(jī)構(gòu)，發(fā)射接收機(jī)構(gòu)包括三個透明檢測型光電傳感器；固定支架包括連接板、L型增高桿以及T型固定板，T型固定板與L型增高桿頂部固定連接，L型增高桿底部與連接板固定連接，連接板固定于晶圓承重板上；反射機(jī)構(gòu)包括三個反射鏡以及固定于反射鏡下方的定位磁板，其中兩個定位磁板設(shè)置于承載板對稱開設(shè)的兩個固定槽內(nèi)，另外一個定位磁板插設(shè)于晶圓承載板的插槽內(nèi)，三個反射鏡與三個透明檢測型光電傳感器相對設(shè)置。采用上述結(jié)構(gòu)的一種適用于多種型號晶圓的感應(yīng)裝置，傳感器器位置可調(diào)，同時采用透明檢測型光電傳感器，便于使用不同尺寸和型號的晶圓。