一種適用于多種型號(hào)晶圓的感應(yīng)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122115813.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215338369U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-12-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215338369U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-28 |
| 分類號(hào) | G01D5/26（2006.01）I;G01D11/00（2006.01）I;G01D11/30（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 唐正隆;王正輝;吳星華;儲(chǔ)長(zhǎng)流;張立 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥開(kāi)悅半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉巖 |
| 地址 | 230093安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種適用于多種型號(hào)晶圓的感應(yīng)裝置，包括晶圓承載板、發(fā)射接收機(jī)構(gòu)、固定支架以及反射機(jī)構(gòu)，發(fā)射接收機(jī)構(gòu)包括三個(gè)透明檢測(cè)型光電傳感器；固定支架包括連接板、L型增高桿以及T型固定板，T型固定板與L型增高桿頂部固定連接，L型增高桿底部與連接板固定連接，連接板固定于晶圓承重板上；反射機(jī)構(gòu)包括三個(gè)反射鏡以及固定于反射鏡下方的定位磁板，其中兩個(gè)定位磁板設(shè)置于承載板對(duì)稱開(kāi)設(shè)的兩個(gè)固定槽內(nèi)，另外一個(gè)定位磁板插設(shè)于晶圓承載板的插槽內(nèi)，三個(gè)反射鏡與三個(gè)透明檢測(cè)型光電傳感器相對(duì)設(shè)置。采用上述結(jié)構(gòu)的一種適用于多種型號(hào)晶圓的感應(yīng)裝置，傳感器器位置可調(diào)，同時(shí)采用透明檢測(cè)型光電傳感器，便于使用不同尺寸和型號(hào)的晶圓。 |
