一種消除共振的晶圓涂膠顯影用傳送手臂

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022811393.8 申請日 -
公開（公告）號 CN213752672U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213752672U 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 唐正隆;王正輝;吳星華;儲長流 申請（專利權）人 合肥開悅半導體科技有限公司
代理機構 北京圣州專利代理事務所（普通合伙） 代理人 王振佳
地址 230000安徽省合肥市經濟技術開發(fā)區(qū)合肥空港經濟示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種消除共振的晶圓涂膠顯影用傳送手臂，包括本體，所述本體為一體結構，所述本體的前端設有對稱結構的夾持臂，所述夾持臂的弧形內側兩端和中部均設有夾持頭；所述夾持臂的外側設有環(huán)形分布的第一減重帶、第二減重帶和第三減重帶，所述第一減重帶、所述第二減重帶和所述第三減重帶均以所述夾持臂的中心線為中心對稱分布，所述第三減重帶設置于所述本體后端的固定部，所述第一減重帶、所述第二減重帶和第三減重帶縱向兩端的外沿形成平滑的曲線結構。本實用新型采用上述結構的一種消除共振的晶圓涂膠顯影用傳送手臂，結構簡單，操作方便，傳輸效率高。