一種平邊晶圓的主傳送手臂

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022811446.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213703464U 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN213703464U 申請公布日 2021-07-16
分類號 B25J15/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設備；機械手;
發(fā)明人 唐正隆;王向東;王正輝;吳星華 申請（專利權）人 合肥開悅半導體科技有限公司
代理機構 北京圣州專利代理事務所（普通合伙） 代理人 王振佳
地址 230000安徽省合肥市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種平邊晶圓的主傳送手臂，包括本體，所述本體為一體結構，所述本體的前端設有對稱結構的夾持臂，其后端的固定部上對稱設置有減重槽，所述夾持臂內(nèi)部弧形結構的兩端和中部均設有連接夾持頭的卡槽，所述夾持頭為一體的弧形結構，其內(nèi)側的中部設有水平置物部，所述置物部的等腰梯形結構兩腰為向內(nèi)凹陷的弧形結構；所述夾持頭的內(nèi)側設有向內(nèi)凹陷的弧形凹槽，所述凹槽中部通過導向槽與所述置物部連接，所述凹槽外側切線的豎直夾角小于導向槽外側切線的豎直夾角。本實用新型采用上述結構的一種平邊晶圓的主傳送手臂，結構簡單，操作方便，傳輸效率高。