一種平邊晶圓的主傳送手臂

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022811446.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213703464U 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN213703464U 申請公布日 2021-07-16
分類號 B25J15/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 唐正隆;王向東;王正輝;吳星華 申請（專利權(quán)）人 合肥開悅半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王振佳
地址 230000安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種平邊晶圓的主傳送手臂，包括本體，所述本體為一體結(jié)構(gòu)，所述本體的前端設(shè)有對稱結(jié)構(gòu)的夾持臂，其后端的固定部上對稱設(shè)置有減重槽，所述夾持臂內(nèi)部弧形結(jié)構(gòu)的兩端和中部均設(shè)有連接夾持頭的卡槽，所述夾持頭為一體的弧形結(jié)構(gòu)，其內(nèi)側(cè)的中部設(shè)有水平置物部，所述置物部的等腰梯形結(jié)構(gòu)兩腰為向內(nèi)凹陷的弧形結(jié)構(gòu)；所述夾持頭的內(nèi)側(cè)設(shè)有向內(nèi)凹陷的弧形凹槽，所述凹槽中部通過導(dǎo)向槽與所述置物部連接，所述凹槽外側(cè)切線的豎直夾角小于導(dǎo)向槽外側(cè)切線的豎直夾角。本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)的一種平邊晶圓的主傳送手臂，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，傳輸效率高。