一種晶圓傳輸裝置用定位工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122116026.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215578478U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215578478U 申請公布日 2022-01-18
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 唐正隆;王正輝;吳星華;儲長流;張立 申請（專利權）人 合肥開悅半導體科技有限公司
代理機構 北京圣州專利代理事務所（普通合伙） 代理人 劉巖
地址 230093安徽省合肥市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓傳輸裝置用定位工裝，包括固定盤以及若干圓周對稱分布于所述固定盤上的定位塊，所述定位塊包括固定板、移動板以及固定螺釘，所述固定板一端設置有卡臺，所述固定板另一端設置有插槽，所述移動板一端插入到所述插槽內并通過固定螺釘固定，所述移動板另一端設置定位凸起。采用上述結構的一種晶圓傳輸裝置用定位工裝，適用于多種尺寸的晶圓固定，定位可靠，提高了傳輸裝置的兼容性，降低設備成本。