一種外部連接單元送晶圓傳送手臂

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022811353.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213242526U 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN213242526U 申請公布日 2021-05-18
分類號 H01L21/687 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 唐正隆;吳星華;劉同同;汪麗靜 申請（專利權）人 合肥開悅半導體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京圣州專利代理事務所（普通合伙） 代理人 王振佳
地址 230000 安徽省合肥市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種外部連接單元送晶圓傳送手臂，包括一體對稱結(jié)構(gòu)的手臂主體，所述手臂主體包括固定部和對稱分布在所述固定部兩側(cè)的水平支撐部，所述固定部的中間設有若干個朝向支撐部的弧形限位槽，所述支撐部的末端設有若干個朝向固定部的弧形卡槽，所述限位槽和所述卡槽上方的外沿均設有圓弧形過度邊。本實用新型采用上述結(jié)構(gòu)的一種外部連接單元送晶圓傳送手臂，與外接曝光機器對接使用時提高兼容性，節(jié)約成本。