一種高效型晶圓傳送臂
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022811449.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213752667U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213752667U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-20 |
| 分類號(hào) | H01L21/683（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 唐正隆;王向東;吳星華;任碩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥開(kāi)悅半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)天柱山大道西、碩放路南電子廠房研發(fā)樓4樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高效型晶圓傳送臂，包括均勻分布在同一圓形上的傳送主體，所述傳送主體為近L型的一體結(jié)構(gòu)，并包括固定部和支撐部，所述支撐部包括分別與所述固定部連接的第一支撐部、第二支撐部，所述第二支撐部向外傾斜于所述第一支撐部；所述第一支撐部前端水平觸頭的長(zhǎng)度長(zhǎng)于所述第二支撐部末端水平觸頭的長(zhǎng)度，所述觸頭上吸盤的內(nèi)側(cè)均設(shè)有傳感器。本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)的一種高效型晶圓傳送臂，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以實(shí)現(xiàn)多種類型晶圓的傳送，操作方便。 |
