一種設(shè)有工件掛板轉(zhuǎn)艙同步運送機械手的大型真空鍍膜機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111031091.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113957408A 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN113957408A 申請公布日 2022-01-21
分類號 C23C14/56（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李志榮;陳思;李運俊 申請（專利權(quán)）人 廣東匯成真空科技股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州知友專利商標代理有限公司 代理人 周克佑
地址 523838廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋龍園路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種設(shè)有工件掛板轉(zhuǎn)艙同步運送機械手的大型真空鍍膜機，機內(nèi)設(shè)有相鄰的工藝艙和過渡艙，過渡艙和工藝艙設(shè)有插板閥分隔；工藝艙內(nèi)設(shè)有：工藝轉(zhuǎn)架，其為一個豎立的多邊形柱體殼，吊掛在帶驅(qū)動機構(gòu)的工藝轉(zhuǎn)架垂直回轉(zhuǎn)軸上，柱體殼側(cè)面每個面上設(shè)有可掛鉤工件掛板的掛鉤，工件掛板為豎立長方形板，四角開有掛鉤孔；過渡艙內(nèi)設(shè)有：工件掛板過渡轉(zhuǎn)架，其為在一豎直且?guī)?qū)動機構(gòu)的過渡中心轉(zhuǎn)軸的上部及下部、對應(yīng)地設(shè)有若干對沿徑向放射性伸出的上下掛桿，上下掛桿的一側(cè)面設(shè)有掛鉤；工件掛板轉(zhuǎn)艙同步運送機械手，用于將工件掛板在過渡艙的過渡轉(zhuǎn)架和工藝艙的工藝轉(zhuǎn)架之間來回移動傳送。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡化、造價降低、使用方便、故障率低。