一種片盒保管搬運(yùn)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011214845.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114435813A 公開（公告）日 2022-05-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN114435813A 申請(qǐng)公布日 2022-05-06
分類號(hào) B65G1/04（2006.01）I;B65G47/90（2006.01）I;B65G1/20（2006.01）I;B65G1/16（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 劉曉姣;洪旭東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 何麗英
地址 110168遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)飛云路16號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于電子半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種片盒保管搬運(yùn)系統(tǒng)。包括片盒保管搬運(yùn)機(jī)器人和片盒存儲(chǔ)框架，其中片盒存儲(chǔ)框架的一側(cè)從上至下依次設(shè)有天車位、緩存位和人工位，另一側(cè)設(shè)有裝載設(shè)備；片盒保管搬運(yùn)機(jī)器人設(shè)置于片盒存儲(chǔ)框架內(nèi)，用于片盒在各工位之間的傳輸。片盒存儲(chǔ)框架的一側(cè)設(shè)有與人工位相對(duì)應(yīng)的推拉門，推拉門上設(shè)有安全門鎖；片盒存儲(chǔ)框架上設(shè)有用于控制安全門鎖開合的取片盒按鈕和放片盒按鈕。本發(fā)明的片盒存儲(chǔ)框架配合片盒保管搬運(yùn)機(jī)器人可以設(shè)計(jì)兩列緩存區(qū)，增加了片盒的存儲(chǔ)量，滿足高產(chǎn)能的要求。片盒存儲(chǔ)框架上的人工位可以在天車出現(xiàn)故障時(shí)，由人工將片盒取出和放置到人工位上。