用于半導體測試的定位清潔裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021591971.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212905020U 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號 CN212905020U 申請公布日 2021-04-06
分類號 G01R1/04(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 盧紅平;趙云峻;張鴻;盧發(fā)生 申請（專利權(quán)）人 上海泰睿思微電子有限公司
代理機構(gòu) 上海唯源專利代理有限公司 代理人 汪家瀚
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)蘆潮港路1758號1幢18641室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于半導體測試的定位清潔裝置，包括中空結(jié)構(gòu)的定位塊(1)，定位塊的一個面上形成有與產(chǎn)品結(jié)構(gòu)相匹配的定位槽(11)，定位塊安裝在測試座(2)上，使定位槽位于測試探針(21)的上方；定位塊的側(cè)部形成有進氣孔(12)并外接供氣設備，定位塊的另一個面上形成有面向測試探針的吹氣孔(13)，進氣孔、定位塊的中空腔體和吹氣孔形成吹氣通道。本實用新型能通過定位槽對產(chǎn)品進行定位，確保產(chǎn)品引腳與測試探針的接觸可靠性和精確性，同時能在產(chǎn)品測試間隙通過吹氣通道對測試探針上的臟污進行吹掃清潔，確保連續(xù)、有效生產(chǎn)，避免測試探針頻繁清洗的問題，減少降低維護時間，提高測試良率和生產(chǎn)效率。??