一種基于錳銅合金微納敏感單元的切削力測(cè)量裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710452017.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107322368B 公開（公告）日 2019-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN107322368B 申請(qǐng)公布日 2019-04-16
分類號(hào) B23Q17/09（2006.01）I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 趙友; 趙玉龍; 葛曉慧; 李瑩雪; 張琪; 李村; 劉明杰; 趙云 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安萬(wàn)威機(jī)械制造股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 賀建斌
地址 710049 陜西省西安市碑林區(qū)咸寧西路28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于錳銅合金微納敏感單元的切削力測(cè)量裝置，在刀片和刀墊之間設(shè)有切削力測(cè)量單元，切削力測(cè)量單元的形狀、尺寸與刀片、刀墊匹配，切削力測(cè)量單元為三明治結(jié)構(gòu)，分別為上、下氧化鋁絕緣層和中間器件層，中間器件層的內(nèi)部集成有基于錳銅合金材料的敏感電阻，銅電極和引線電路的一端與基于錳銅合金材料的敏感電阻連通，另一端與切削力測(cè)量單元側(cè)面的金屬焊盤連通，從而使基于錳銅合金材料的敏感電阻與信號(hào)處理電路中的固定電阻連接構(gòu)成惠斯通測(cè)量電橋，切削力測(cè)量單元采用MEMS技術(shù)進(jìn)行加工，本發(fā)明具有兼容性好、通用性強(qiáng)、測(cè)量精度高的優(yōu)點(diǎn)。