耗盡型終端保護(hù)結(jié)構(gòu)
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN200610096438.X | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN1929126A | 公開(kāi)(公告)日 | 2007-03-14 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN1929126A | 申請(qǐng)公布日 | 2007-03-14 |
分類(lèi)號(hào) | H01L23/58(2006.01) | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 易揚(yáng)波;李海松 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 無(wú)錫博創(chuàng)微電子有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 無(wú)錫博創(chuàng)微電子有限公司;蘇州博創(chuàng)集成電路設(shè)計(jì)有限公司 |
地址 | 214028江蘇省無(wú)錫市新區(qū)長(zhǎng)江路21號(hào)信息產(chǎn)業(yè)園D棟4層 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種用于保護(hù)功率集成電路或功率器件的耗盡型終端保護(hù)結(jié)構(gòu),包括:重?fù)诫sN型襯底,在重?fù)诫sN型襯底上設(shè)有輕摻雜N型外延,在輕摻雜N型外延上設(shè)有重?fù)诫sN型截止環(huán)及用于設(shè)置功率集成電路或功率器件原胞的腔體,在輕摻雜N型外延的重?fù)诫sN型截止環(huán)及原胞腔體以外的區(qū)域上方設(shè)有場(chǎng)氧化層,在場(chǎng)氧化層上方設(shè)有多晶場(chǎng)板,在場(chǎng)氧化層、重?fù)诫sN型截止環(huán)及多晶場(chǎng)板上覆有介質(zhì)層,在重?fù)诫sN型截止環(huán)及多晶場(chǎng)板上分別連接有金屬引線(xiàn),輕摻雜N型外延上設(shè)有接零電位的輕摻雜P型阱,該輕摻雜P型阱位于場(chǎng)氧化層的下面且位于重?fù)诫sN型截止環(huán)與原胞腔體之間。 |
