全應(yīng)變測(cè)量式原位納米壓/劃痕測(cè)試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210413791.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102928308B 公開(kāi)（公告）日 2014-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN102928308B 申請(qǐng)公布日 2014-07-09
分類(lèi)號(hào) G01N3/42;G01N3/46;G01N3/02;G01N3/06 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 黃虎;趙宏偉;史成利;萬(wàn)順光 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 長(zhǎng)春中機(jī)試驗(yàn)設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 吉林長(zhǎng)春新紀(jì)元專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 代理人 王怡敏
地址 130000 吉林省長(zhǎng)春市高新區(qū)硅谷大街1118號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種全應(yīng)變測(cè)量式原位納米壓/劃痕測(cè)試裝置，屬于電一體化的精密科學(xué)儀器領(lǐng)域。包括宏動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)、精密壓入單元、載荷與位移信號(hào)檢測(cè)單元以及劃痕驅(qū)動(dòng)單元，所述宏動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)安裝在基座上；精密壓入單元通過(guò)過(guò)渡連接板連接在宏動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)的x向滑臺(tái)上；載荷與位移信號(hào)檢測(cè)單元包含二組八片應(yīng)變片，通過(guò)內(nèi)嵌的方式分別安裝在精密壓入單元的載荷檢測(cè)用柔性鉸鏈和x向柔性鉸鏈上；劃痕驅(qū)動(dòng)單元通過(guò)螺釘與基座相連接。采用內(nèi)置的應(yīng)變片進(jìn)行信號(hào)檢測(cè)，使得整個(gè)測(cè)試裝置結(jié)構(gòu)緊湊、體積小，便于整個(gè)測(cè)試裝置安裝于掃描電子顯微鏡（SEM）或X射線(xiàn)衍射儀等載物臺(tái)上實(shí)現(xiàn)材料的原位壓痕、劃痕測(cè)試，為研究材料的損傷機(jī)制提供技術(shù)支持。