顯微組件下跨尺度原位微納米三點/四點彎曲測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110353825.8 申請日 -
公開（公告）號 CN102494955B 公開（公告）日 2013-04-24
申請公布號 CN102494955B 申請公布日 2013-04-24
分類號 G01N3/20;G01B11/16 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙宏偉;張霖;黃虎;胡曉利;史成利;馬志超;王開廳;李澤君 申請（專利權）人 長春中機試驗設備有限公司
代理機構 吉林長春新紀元專利代理有限責任公司 代理人 王怡敏
地址 130025 吉林省長春市人民大街5988號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種顯微組件下跨尺度原位微納米三點/四點彎曲測試裝置，屬于機械類。包括精密驅動控制單元、具有三自由度的調整單元、傳動及執(zhí)行單元、信號檢測單元和連接支撐單元。其中精密驅動直流伺服電機通過柔性聯(lián)軸器與一級渦輪相連，一級渦輪通過渦輪蝸桿傳動副與二級渦輪相連，并且二級渦輪通過渦輪蝸桿傳動副分別與引導杠Ⅰ、Ⅱ相連，進而帶動彎曲測試沖頭完成測試動作。本發(fā)明結構緊湊，功能可靠，安裝方便，便于操作，并且可以通過位移、載荷高精度控制算法對加載測試過程進行補償并對測試數(shù)據(jù)進行修正，能夠放置在體積限制的多種商業(yè)化顯微測試裝置中，精確進行微小尺度材料試件彎曲性能測試。