顯微組件下跨尺度原位微納米拉伸/壓縮液壓驅(qū)動測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110353413.4 申請日 -
公開（公告）號 CN102384878B 公開（公告）日 2013-04-24
申請公布號 CN102384878B 申請公布日 2013-04-24
分類號 G01N3/36;G01N3/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙宏偉;張霖;史成利;胡曉利;馬志超;黃虎;王開廳 申請（專利權(quán)）人 長春中機試驗設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 吉林長春新紀元專利代理有限責任公司 代理人 王怡敏
地址 130000 吉林省長春市高新區(qū)硅谷大街1118號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種顯微組件下跨尺度原位微納米拉伸/壓縮液壓驅(qū)動測試裝置，屬于機械類。包括液壓精密驅(qū)動控制單元、測試執(zhí)行單元、三自由度調(diào)整工作臺、測試檢測單元、連接及支撐單元；伺服液壓缸Ⅰ~Ⅳ的輸出端分別與移動車架組相連，所述移動車架組與基板滑動連接；所述伺服液壓缸Ⅰ、Ⅱ分別固定在前側(cè)板上，伺服液壓缸Ⅲ、Ⅳ分別固定在測力車架組上，卡具Ⅰ、Ⅱ分別固定在移動車架組及測試車架組的上方。優(yōu)點在于：體積小、重量輕、剛度高、結(jié)構(gòu)緊湊、測試精度高，并且能夠在線監(jiān)測試件微觀變形以及損傷斷裂過程，可提供的測試內(nèi)容豐富等特點，可得材料的彈性模量、屈服極限及斷裂強度等重要力學(xué)參數(shù)，也可獲得樣品的抗疲勞性能。