氮化硅的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810354780.8 申請日 -
公開（公告）號 CN108285132B 公開（公告）日 2019-11-15
申請公布號 CN108285132B 申請公布日 2019-11-15
分類號 C01B21/068 分類 無機化學;
發(fā)明人 朱青松;何文;董占美;王佳軍;年夫雪 申請（專利權）人 蘇州協(xié)鑫能源技術發(fā)展有限公司
代理機構 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 蘇州協(xié)鑫能源技術發(fā)展有限公司
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)新慶路28號二層東南角
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種氮化硅的制備方法，該制備方法包括：預熱原料鹵化硅和/或氫鹵化硅和/或硅烷至第一溫度，形成第一反應流體；預熱原料氮氣和/或氨氣至第二溫度，形成第二反應流體；將第一反應流體以第一流速、第二反應流體以第二流速輸入流化反應裝置，調節(jié)第一流速、第二流速使流化反應裝置中所得混合流體達到第三溫度，鹵化硅和/或氫鹵化硅和/或硅烷、氮氣和/或氨氣于該第三溫度下反應，獲得氮化硅；第一溫度小于第三溫度，第三溫度小于第二溫度。反應溫度調控靈活、調節(jié)快速精準，能夠將混合流體溫度控制在嚴格特定溫度區(qū)間，從而僅生成該特定溫度區(qū)間對應的氮化硅類型，不會出現(xiàn)不同相氮化硅的混合，純度極高；瞬間反應，生產速度快。