氮化硅及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710125144.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108529576B 公開（公告）日 2020-12-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN108529576B 申請(qǐng)公布日 2020-12-04
分類號(hào) C01B21/068 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 朱青松;何文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州協(xié)鑫能源技術(shù)發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 蘇州協(xié)鑫能源技術(shù)發(fā)展有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)新慶路28號(hào)二層?xùn)|南角
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種氮化硅及其制備方法。上述氮化硅的制備方法包括以下步驟：采用氮?dú)鈱?duì)硅顆粒進(jìn)行氣霧化處理，得到氣霧化后的硅粉；連續(xù)將等離子體狀態(tài)下的氮?dú)夂蜌忪F化后的硅粉送入反應(yīng)器，并保持反應(yīng)器溫度為1300℃～1450℃，之后進(jìn)行固氣分離并保留固體；以及向固體中添加α相氮化硅、氟化銨和碘化銨，混勻之后抽真空，之后通入氮?dú)夂蜌錃獾幕旌蠚怏w直至壓力升至表壓0.005MPa～0.05MPa，之后升溫至1200℃～1250℃，并持續(xù)通入氮?dú)夂蜌錃獾幕旌蠚怏w直至壓力升至表壓0.01MPa～0.1MPa，維持反應(yīng)時(shí)間為5小時(shí)～10小時(shí)，反應(yīng)完全之后冷卻，得到氮化硅。本發(fā)明的氮化硅的制備方法為復(fù)合合成法，采用本發(fā)明的上述氮化硅的制備方法能夠得到高α相氮化硅。