基于抽氣法制備大面積鈣鈦礦薄膜的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920106660.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209619436U 公開(kāi)（公告）日 2019-11-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN209619436U 申請(qǐng)公布日 2019-11-12
分類號(hào) C23C14/22（2006.01）I; C23C14/06（2006.01）I; H01L51/48（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 范利生; 孫璇; 瞿光胤; 田清勇; 范斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州協(xié)鑫能源技術(shù)發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 蘇州協(xié)鑫納米科技有限公司;蘇州協(xié)鑫能源技術(shù)發(fā)展有限公司;昆山協(xié)鑫光電材料有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)東長(zhǎng)路88號(hào)N3棟1-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于抽氣法制備大面積鈣鈦礦薄膜的裝置，其包括：薄膜生長(zhǎng)機(jī)構(gòu)，其具有用于容置鈣鈦礦前驅(qū)體液膜的結(jié)晶腔體；負(fù)壓發(fā)生機(jī)構(gòu)，其與結(jié)晶腔體連接，并至少用于在結(jié)晶腔體內(nèi)形成負(fù)壓環(huán)境；反溶劑容置機(jī)構(gòu)，其至少用于容置反溶劑；加熱機(jī)構(gòu)，加熱機(jī)構(gòu)與反溶劑容置機(jī)構(gòu)導(dǎo)熱連接，并至少用于使反溶劑容置機(jī)構(gòu)內(nèi)的反溶劑氣化；導(dǎo)氣機(jī)構(gòu)，其包括至少一條導(dǎo)氣管，導(dǎo)氣管分別與結(jié)晶腔體、反溶劑容置機(jī)構(gòu)連接。本實(shí)用新型提供的基于抽氣法制備大面積鈣鈦礦薄膜的裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，其能夠制備形成大面積的鈣鈦礦薄膜，且制備形成的鈣鈦礦薄膜成膜均勻、質(zhì)量高，適合規(guī)?；苽浜蜕a(chǎn)。