鈣鈦礦薄膜的涂布裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710976767.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107812673B 公開（公告）日 2020-01-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN107812673B 申請(qǐng)公布日 2020-01-31
分類號(hào) B05C11/06;H01L31/18 分類 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 安揚(yáng);朱桂;田清勇;范斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州協(xié)鑫能源技術(shù)發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 蘇州協(xié)鑫納米科技有限公司;蘇州協(xié)鑫能源技術(shù)發(fā)展有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)東長(zhǎng)路88號(hào)N3棟1-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種鈣鈦礦薄膜的涂布裝置，包括：涂布機(jī)構(gòu)，用于對(duì)基體進(jìn)行涂布，以形成液膜。吹氣機(jī)構(gòu)，用于對(duì)液膜進(jìn)行吹氣以形成鈣鈦礦薄膜。以及連接機(jī)構(gòu)，用于將吹氣機(jī)構(gòu)連接于涂布機(jī)構(gòu)的一側(cè)。上述鈣鈦礦薄膜的涂布裝置，能夠完成鈣鈦礦薄膜涂布和薄膜吹干，是一體化涂布裝置，故而可以使涂布好的鈣鈦礦液膜快速吹干，減少工序，降低成本。利用此裝置制備的鈣鈦礦薄膜均勻。另外，可以根據(jù)實(shí)際需求制備大尺寸的鈣鈦礦薄膜。