真空電弧離子鍍膜陰極體兩用的水冷裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520378415.2 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN204727941U 公開（公告）日 2015-10-28
申請公布號(hào) CN204727941U 申請公布日 2015-10-28
分類號(hào) C23C14/32(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 白春陽;王俊波;邊雪 申請（專利權(quán)）人 大連金泰協(xié)力科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 116600 遼寧省大連市大連保稅區(qū)華鐵工業(yè)園IC-45號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于一種真空電孤離子鍍膜陰極體兩用的水冷裝置，包括水冷裝置殼體（14），其特征在于在水冷裝置殼體（14）上設(shè)有水道（3）；在水冷裝置殼體（14）上對稱的焊接二個(gè)進(jìn)出水口座（15），在進(jìn)出水口座（15）上設(shè)有進(jìn)出水口（5）與水道（3）連通；在水冷裝置殼體（14）左端設(shè)有O型密封圈槽（4），中心設(shè)有M10螺孔（1）和M12螺孔（2），在M10螺孔（1）中用兩端帶螺紋的連接桿（9）連接陰極體一（7）和靶墊（8）；靶墊（8）上設(shè)有O型密封圈槽（4）；在水冷裝置殼體（14）的圓周上對稱的焊接兩個(gè)絕緣殼體連接耳座（6），在絕緣殼體連接耳座（6）上用螺栓裝有絕緣墊木掛鉤（16）。該實(shí)用新型既可直接水冷，水垢不腐蝕陰極體，不堵水道；又可間接水冷，冷卻效果好，適應(yīng)不同陰極體的真空電孤離子鍍膜。