一種大行程MEMS探針器件及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510265023.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105366622A 公開(kāi)（公告）日 2016-03-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN105366622A 申請(qǐng)公布日 2016-03-02
分類(lèi)號(hào) B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I 分類(lèi) 微觀(guān)結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 王文輝;鐘桂雄;李四華;施林偉;李維 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳市盛喜路科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)彩田路西紅荔路南中銀花園辦公樓A樓22A、B、Ca、Cb、D、E-E8
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種大行程的MEMS探針器件及其制作方法，包括上下貼合的上襯底（1）和下襯底（2）、電極（5）、彈性折疊梁（6）和探針（7），形成尺寸略大于被其所包圍的探針外形尺寸的密封探針通道（3）以及驅(qū)動(dòng)腔體（4），具有與電極（5）和/或驅(qū)動(dòng)腔體（4）對(duì)應(yīng)的通孔，所述探針（7）的兩端分別暴露于驅(qū)動(dòng)腔體（4）內(nèi)及之外的工作環(huán)境中；上下襯底之間密封注入工作介質(zhì)，通過(guò)探針兩側(cè)環(huán)境的壓力差實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)。本發(fā)明采用了采用液壓/氣壓驅(qū)動(dòng)探針的方式，使探針的行程與驅(qū)動(dòng)力無(wú)關(guān)，且行程和驅(qū)動(dòng)力不再耦合，因此可同時(shí)提供超大行程和大驅(qū)動(dòng)力。同時(shí)，由于采用MEMS加工工藝和SOI硅片，大大提高了器件的精度和重復(fù)性。