一種狀態(tài)可自鎖定的大位移MEMS光開(kāi)關(guān)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410188436.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104007549B 公開(kāi)（公告）日 2017-02-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN104007549B 申請(qǐng)公布日 2017-02-15
分類號(hào) G02B26/08(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 李四華;李維;施林偉;楊忠鈺 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市盛喜路科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)彩田路西紅荔路南中銀花園辦公樓A棟22A、B、Cb、Ca、D、E-E-8
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種狀態(tài)可鎖定的大位移MEMS可調(diào)諧光開(kāi)關(guān)器件及其制作方法，MEMS光開(kāi)關(guān)包括基片、第一梳齒、第二梳齒、第一變形梁、第二變形梁、第一自鎖結(jié)構(gòu)、第二自鎖結(jié)構(gòu)、微反射鏡面、錨點(diǎn)和信號(hào)引線，對(duì)第一梳齒施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)，通過(guò)所述第一變形梁和第二變形梁的彎曲帶動(dòng)微反射鏡面以及第一自鎖結(jié)構(gòu)同時(shí)沿鎖定方向移動(dòng)，與第二自鎖結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)相互鎖定，第二梳齒運(yùn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)第二自鎖結(jié)構(gòu)同時(shí)沿解鎖方向移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)與第一自鎖結(jié)構(gòu)的鎖定解除。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了微鏡面的大位移運(yùn)動(dòng)和光開(kāi)關(guān)狀態(tài)的自鎖定。