一種MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310744255.4 申請日 -
公開（公告）號 CN103698854B 公開（公告）日 2016-01-13
申請公布號 CN103698854B 申請公布日 2016-01-13
分類號 G02B6/26(2006.01)I;G02B6/32(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 李四華;李維;楊忠鈺;施林偉 申請（專利權(quán)）人 深圳市盛喜路科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)彩田路中銀大廈A座22樓EB房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)，包括聚焦透鏡、尾纖套管和采用微機(jī)電系統(tǒng)制作的光芯片，尾纖套管用粘結(jié)膠固定在一空心圓柱磁鐵內(nèi)，構(gòu)成第一磁組件1；聚焦透鏡一端為光信號入射面，另一端具有光反射面；聚焦透鏡用粘結(jié)膠固定在空心圓柱磁鐵內(nèi)，光芯片用粘結(jié)膠固定在空心圓柱磁鐵上用于與第一磁組件相吸合的端部，構(gòu)成第二磁組件2；相互磁吸合并用粘結(jié)膠加固的第一磁組件1、第二磁組件2構(gòu)成可調(diào)光衰減器組件；光衰減器組件置于一空心的外部保護(hù)套管，且外部保護(hù)套管兩端用粘結(jié)膠灌封，形成可調(diào)光衰減器。本發(fā)明的目的是提供一種小型化、低成本及高可靠性的MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法。