一種混合驅動的可調諧光學驅動器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520025671.3 申請日 -
公開（公告）號 CN204719329U 公開（公告）日 2015-10-21
申請公布號 CN204719329U 申請公布日 2015-10-21
分類號 G02B26/08(2006.01)I;G02B6/26(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 李四華;王文輝;鐘桂雄;李維;施林偉 申請（專利權）人 深圳市盛喜路科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 518000 廣東省中山市福田區(qū)彩田路西紅荔路南中銀花園辦公樓A棟22A.B.Cb.Ca.D.E-E-8
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種混合驅動方式的可調諧光學驅動器，包括熱驅動變形梁1、磁驅動變形梁2、驅動電極3-6、電隔離槽7-11、微鏡面12，其特征在于所述磁驅動梁2和熱驅動梁1通過驅動連接結構與微鏡面12連接，根據不同磁場方向和施加的電壓，所述驅動梁會產生不同的驅動力改變微鏡面的運動方向。所述梁1和梁2之間用隔離槽進行電隔離和熱隔離。本實用新型采用了可以磁熱兼容的混合驅動結構設計，同時采用不同的隔離結構對其電學驅動進行隔離，減少了熱驅動梁的功耗，可以在不增加熱驅動功耗時增加其光衰減量。同時由于采用電學隔離和熱學隔離，避免了熱驅動梁上的熱變化對微鏡面結構的影響，提高了器件的整體性能及可靠性。