組合式襯底托盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122214980.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215976143U 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN215976143U 申請公布日 2022-03-08
分類號 C30B29/36（2006.01）I;C30B25/20（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 吳會旺;楊龍;薛宏偉;袁肇耿 申請（專利權(quán)）人 河北普興電子科技股份有限公司
代理機構(gòu) 石家莊國為知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 李榮文
地址 050200河北省石家莊市鹿泉經(jīng)濟開發(fā)區(qū)昌盛大街21號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種組合式襯底托盤，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，至少包括一個石墨外環(huán)和一個石墨中心盤，石墨外環(huán)和石墨中心盤同心嵌套組成一個完整的外延襯底托盤，石墨外環(huán)和石墨中心盤具有不同的熱導(dǎo)率。本實施例提供的組合式襯底托盤，選用不同熱導(dǎo)率的石墨制成石墨外環(huán)和石墨中心盤，使托盤具有不同的熱導(dǎo)率，在不同的區(qū)域具有不同的傳熱效率，對應(yīng)傳遞到襯底不同部位的熱量不同，從而實現(xiàn)調(diào)節(jié)襯底外延片內(nèi)溫度的目的。