一種高純碳化硅粉料品質(zhì)的評(píng)價(jià)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910694877.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110455725B 公開（公告）日 2021-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN110455725B 申請(qǐng)公布日 2021-12-07
分類號(hào) G01N21/31（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王建江;王毅;高衛(wèi);李召永;趙麗霞;吳會(huì)旺;陳秉克 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河北普興電子科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 李坤
地址 050200河北省石家莊市鹿泉經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)昌盛大街21號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高純碳化硅粉料品質(zhì)的評(píng)價(jià)方法。所述評(píng)價(jià)方法包括如下步驟：取高純碳化硅粉料，采用測(cè)色裝置測(cè)量其明度值L及色度值a和b；將所得L值、a值和b值代入計(jì)算品質(zhì)因數(shù)Δ。本發(fā)明基于分光測(cè)色原理，并根據(jù)高純碳化硅粉料中各種雜質(zhì)所導(dǎo)致的碳化硅粉料表觀顏色的差異，創(chuàng)造性地構(gòu)建了品質(zhì)因數(shù)的計(jì)算公式，綜合反映了碳化硅粉料中N、Al和B等雜質(zhì)的含量以及碳包裹體的含量，并能半定量的分析碳化硅粉料中的氮含量的高低。品質(zhì)因數(shù)越大，表明碳化硅粉料的品質(zhì)越好，a值越趨近0，表明氮含量越低。采用本發(fā)明提供的品質(zhì)因數(shù)和測(cè)量所得a值可以對(duì)高純碳化硅粉料的品質(zhì)與氮含量進(jìn)行快速有效的評(píng)估分級(jí)。