一種平板式外延爐的吸盤裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123064343.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216528819U | 公開（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216528819U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-13 |
| 分類號(hào) | H01L21/683（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 趙葉軍;張倩;薛宏偉;袁肇耿;仇根忠;任麗翠 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 河北普興電子科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 | 代理人 | - |
| 地址 | 050200河北省石家莊市鹿泉經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)昌盛大街21號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種平板式外延爐的吸盤裝置，屬于半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括吸盤，在吸盤內(nèi)部設(shè)置有吸氣腔，在吸盤的外側(cè)設(shè)置有連接桿，連接桿為中空結(jié)構(gòu)，且連接桿的一端固定在吸盤的外側(cè)且與吸盤內(nèi)部的吸氣腔連通，在連接桿的另一端設(shè)置有吸氣口，在吸盤上還固定設(shè)置有支撐桿，支撐桿為中空結(jié)構(gòu)支撐桿的一端固定連接在吸盤上且與吸盤內(nèi)部的吸氣腔連通，本實(shí)用新型通過將支撐桿的另一端與吸氣機(jī)構(gòu)連接，使吸氣機(jī)構(gòu)的吸氣端與支撐桿內(nèi)部連通，從而使吸氣腔內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓，可以將吸氣孔移動(dòng)至裂片處或石墨基座內(nèi)部能夠?qū)⒘哑瑥氖鶅?nèi)部吸出，或?qū)⑹セ鶅?nèi)部的雜質(zhì)顆粒吸除，操作過程簡(jiǎn)單、方便。 |
