一種CVD機臺石英盤固定裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121040985.2 申請日 -
公開（公告）號 CN215163112U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215163112U 申請公布日 2021-12-14
分類號 C23C16/458（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 魏桂忠;霍曉陽;侯志義 申請（專利權）人 河北普興電子科技股份有限公司
代理機構 石家莊國為知識產(chǎn)權事務所 代理人 李榮文
地址 050200河北省石家莊市鹿泉經(jīng)濟開發(fā)區(qū)昌盛大街21號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種CVD機臺石英盤固定裝置，屬于CVD機臺設備技術領域，該CVD機臺石英盤固定裝置用于固定位于鐘罩中心位置的石英盤，包括前擋板和后擋板，前擋板固定于石英熱壁上，且位于所述石英盤一側(cè)，前擋板一側(cè)設有與石英盤外邊緣匹配的第一限位圓弧；后擋板固定于石英熱壁上，且位于所述石英盤遠離所述前擋板的一側(cè)，后擋板一側(cè)設有與石英盤外邊緣匹配的第二限位圓??；第一限位圓弧和第二限位圓弧用于限制石英盤移動。本實用新型提供的CVD機臺石英盤固定裝置，第一限位圓弧和第二限位圓弧夾住石英盤，加上石英熱壁壓在前擋板和后擋板上，使石英盤穩(wěn)定在安裝位置，可消除剮蹭基座問題，提高CVD多片機臺的穩(wěn)定性。