碳化硅外延設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123346517.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216514256U 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN216514256U 申請公布日 2022-05-13
分類號 C30B25/16（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 楊龍;吳會旺;李召永;白春杰;李偉峰;張國良;袁肇耿;薛宏偉 申請（專利權(quán)）人 河北普興電子科技股份有限公司
代理機構(gòu) 石家莊國為知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 -
地址 050200河北省石家莊市鹿泉經(jīng)濟開發(fā)區(qū)昌盛大街21號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種碳化硅外延設(shè)備，所述碳化硅外延設(shè)備包括殼體、加熱器、基座、測距儀以及控制器；所述殼體設(shè)有透視結(jié)構(gòu)，所述加熱器位于所述殼體內(nèi)，具有用于吹浮所述基座的氣道；所述基座包括可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述加熱器頂部的基座本體以及與所述基座本體連接的檢測柱體，所述檢測柱體具有待檢測面；所述測距儀通過所述透視結(jié)構(gòu)，實時檢測所述待檢測面到所述測距儀的水平最短距離；所述控制器與所述測距儀電性連接，用于接收信號并根據(jù)所述待檢測面到所述測距儀的水平最短距離的變化量計算所述基座的豎直位移。本實用新型提供的碳化硅外延設(shè)備達到對基座進行實時監(jiān)控的目的。