一種帶有熱鍍錫鈍化保護(hù)膜的叉指電極及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011251512.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112575278A 公開（公告）日 2021-03-30
申請公布號 CN112575278A 申請公布日 2021-03-30
分類號 G01R1/02(2006.01)I;C23C2/08(2006.01)I;C23C2/02(2006.01)I;C23C2/00(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 奚亞男;崔皓博;傅仁利;張鑫垚 申請（專利權(quán)）人 惠州市鈺芯電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州幫專高智知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 顏德昊
地址 516083廣東省惠州市大亞灣西區(qū)科技創(chuàng)新園科技5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種帶有熱鍍錫鈍化保護(hù)膜的叉指電極及其制備方法。本發(fā)明采用磁控濺射的方法在陶瓷表面濺射金屬層，并通過光刻的方式在金屬層上形成叉指形狀，采用熱鍍的方法將金屬錫鍍到電極表面，然后用鈍化劑對錫層進(jìn)行鈍化。這種帶有熱鍍錫鈍化保護(hù)膜的叉指電極可以使用在較為復(fù)雜的工作環(huán)境中，相比于無保護(hù)層的叉指電極，其在高溫高濕或含鹽量較高的環(huán)境中具有更長的壽命，同時(shí)本發(fā)明操作簡單、成本低且性能優(yōu)異，適合大面積推廣。??