一種帶有熱鍍錫鈍化保護(hù)膜的叉指電極及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011251512.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112575278A | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112575278A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號(hào) | G01R1/02(2006.01)I;C23C2/08(2006.01)I;C23C2/02(2006.01)I;C23C2/00(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 奚亞男;崔皓博;傅仁利;張?chǎng)螆?/td> | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 惠州市鈺芯電子材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州幫專高智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 顏德昊 |
| 地址 | 516083廣東省惠州市大亞灣西區(qū)科技創(chuàng)新園科技5號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種帶有熱鍍錫鈍化保護(hù)膜的叉指電極及其制備方法。本發(fā)明采用磁控濺射的方法在陶瓷表面濺射金屬層，并通過光刻的方式在金屬層上形成叉指形狀，采用熱鍍的方法將金屬錫鍍到電極表面，然后用鈍化劑對(duì)錫層進(jìn)行鈍化。這種帶有熱鍍錫鈍化保護(hù)膜的叉指電極可以使用在較為復(fù)雜的工作環(huán)境中，相比于無保護(hù)層的叉指電極，其在高溫高濕或含鹽量較高的環(huán)境中具有更長(zhǎng)的壽命，同時(shí)本發(fā)明操作簡(jiǎn)單、成本低且性能優(yōu)異，適合大面積推廣。?? |
