一種四氯化硅尾氣直冷回收裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922423968.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN211513970U 公開(kāi)(公告)日 2020-09-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN211513970U 申請(qǐng)公布日 2020-09-18
分類(lèi)號(hào) B01D53/00(2006.01)I 分類(lèi) -
發(fā)明人 張輝俊;羅全安;何壽林 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 武漢新硅科技潛江有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢今天智匯專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 武漢新硅科技潛江有限公司
地址 433100湖北省潛江市潛江經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)鹽化一路西37號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種四氯化硅尾氣直冷回收裝置,包括裝有液體四氯化硅的冷卻吸收罐和通過(guò)循環(huán)泵連接用于冷卻冷卻吸收罐內(nèi)液體四氯化硅的制冷機(jī)組;還包括尾氣分配臺(tái)和與尾氣分配臺(tái)連通的熱交換罐,熱交換罐內(nèi)裝有低溫的液體四氯化硅,熱交換罐頂部設(shè)有氣相四氯化硅出口與冷卻吸收罐頂部的氣相四氯化硅入口連通,冷卻吸收罐底部設(shè)有液體四氯化硅出口與熱交換罐連通,熱交換罐與液體四氯化硅收集罐連通,冷卻吸收罐頂部還設(shè)有四氯化硅尾氣出口。本實(shí)用新型將四氯化硅尾氣直接輸入回收裝置,經(jīng)制冷機(jī)組和熱交換罐冷卻后,尾氣中四氯化硅從氣相轉(zhuǎn)變?yōu)橐合?,液態(tài)四氯化硅回收利用,減少尾氣排放與處理量,降低尾氣處理成本,回收效率高。??