一種四氯化硅供料系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023205862.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214306525U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214306525U 申請公布日 2021-09-28
分類號 F17D1/02（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;C01B33/107（2006.01）I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 彭鑫;羅全安;何壽林 申請（專利權(quán)）人 武漢新硅科技潛江有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢江楚智匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 矯婭琳
地址 433100湖北省潛江經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)鹽化一路西37號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種四氯化硅供料系統(tǒng)，其不同之處在于：其包括供氮部、供料部、車間終端設(shè)備、排壓部、及排污部；供氮部包括氮?dú)夤?yīng)裝置及供氮管道；供料部包括原料罐、屏蔽泵、緩沖罐、緩沖供料管道、及車間供料管道，原料罐及緩沖罐分別通過供氮管道與氮?dú)夤?yīng)裝置連通，原料罐、屏蔽泵、及緩沖罐通過緩沖供料管道依次連通，緩沖罐與車間終端設(shè)備通過車間供料管道連通，車間供料管道上設(shè)置有過濾器；排壓部包括堿水池及排壓管，原料罐及緩沖罐分別通過排壓管與堿水池連通；排污部包括廢料罐及排污管道，原料罐及緩沖罐分別通過排污管道與廢料罐連通。本實(shí)用新型對車間終端設(shè)備平穩(wěn)供料。