一種四氯化硅供料系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023205862.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214306525U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214306525U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-28 |
| 分類(lèi)號(hào) | F17D1/02（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;C01B33/107（2006.01）I | 分類(lèi) | 氣體或液體的貯存或分配; |
| 發(fā)明人 | 彭鑫;羅全安;何壽林 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 武漢新硅科技潛江有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 武漢江楚智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 矯婭琳 |
| 地址 | 433100湖北省潛江經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)鹽化一路西37號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種四氯化硅供料系統(tǒng)，其不同之處在于：其包括供氮部、供料部、車(chē)間終端設(shè)備、排壓部、及排污部；供氮部包括氮?dú)夤?yīng)裝置及供氮管道；供料部包括原料罐、屏蔽泵、緩沖罐、緩沖供料管道、及車(chē)間供料管道，原料罐及緩沖罐分別通過(guò)供氮管道與氮?dú)夤?yīng)裝置連通，原料罐、屏蔽泵、及緩沖罐通過(guò)緩沖供料管道依次連通，緩沖罐與車(chē)間終端設(shè)備通過(guò)車(chē)間供料管道連通，車(chē)間供料管道上設(shè)置有過(guò)濾器；排壓部包括堿水池及排壓管，原料罐及緩沖罐分別通過(guò)排壓管與堿水池連通；排污部包括廢料罐及排污管道，原料罐及緩沖罐分別通過(guò)排污管道與廢料罐連通。本實(shí)用新型對(duì)車(chē)間終端設(shè)備平穩(wěn)供料。 |
