高純光纖用四氯化硅生產(chǎn)過程中尾氣回收循環(huán)利用裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023111861.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214287404U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214287404U 申請公布日 2021-09-28
分類號 B01D53/00（2006.01）I;B01D5/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 帥大虎;羅全安;何壽林 申請（專利權(quán)）人 武漢新硅科技潛江有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢江楚智匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄧寅杰
地址 433100湖北省潛江市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)鹽化一路西37號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高純光纖用四氯化硅生產(chǎn)過程中尾氣回收循環(huán)利用裝置，包括通過管路順次連接的尾氣分配臺、緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、氣液分離罐和尾氣貯罐；尾氣分配臺設(shè)有尾氣入口，尾氣貯罐設(shè)有尾氣出口，尾氣從尾氣分配臺的尾氣入口進(jìn)入，依次通過尾氣分配臺、緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、氣液分離罐和尾氣貯罐，從尾氣貯罐的尾氣出口流出。本實用新型尾氣回收循環(huán)利用裝置可以回收尾氣中夾帶的重組分氯硅烷，減少尾氣的處理量。同時氮氣以及輕組分氯硅烷儲存在尾氣貯罐，可以補(bǔ)充到原料罐車，減少原料罐車氮氣的用量。