電子級六氯二硅烷的生產(chǎn)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023071361.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214270231U 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN214270231U 申請公布日 2021-09-24
分類號 C01B33/107（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 何壽林;羅全安 申請（專利權(quán)）人 武漢新硅科技潛江有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢江楚智匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄧寅杰
地址 433100湖北省潛江市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)鹽化一路西37號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種電子級六氯二硅烷的生產(chǎn)系統(tǒng)，包括預(yù)處理系統(tǒng)和提純系統(tǒng)，預(yù)處理系統(tǒng)對原料進(jìn)行粗提，提純系統(tǒng)將經(jīng)預(yù)處理系統(tǒng)粗提后的粗料提純?yōu)殡娮蛹壛榷柰椤ｎA(yù)處理系統(tǒng)包括第一蒸餾塔、第二蒸餾塔和第三蒸餾塔，提純系統(tǒng)包括脫重組分塔、脫輕組分塔、脫鋁塔和高純塔。使用本實(shí)用新型生產(chǎn)系統(tǒng)生產(chǎn)電子級六氯二硅烷，能生產(chǎn)出純度99.95％以上，以金屬元素含量計算純度達(dá)到99.999?99.99999％的高純產(chǎn)品。