高純度液體氯硅烷取樣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023154319.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214309694U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214309694U 申請公布日 2021-09-28
分類號 G01N1/14（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 饒平;羅全安;何壽林 申請（專利權）人 武漢新硅科技潛江有限公司
代理機構 武漢江楚智匯知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 鄧寅杰
地址 433100湖北省潛江經濟開發(fā)區(qū)鹽化一路西37號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了高純度液體氯硅烷取樣裝置，包括取樣器和處理池，取樣器的外部設置有處理池，取樣器包括支撐座和儲液盒，支撐座的頂部固定安裝有儲液盒，且儲液盒的頂部設置有取樣口，取樣口的端部連接有吸液管，且吸液管的外側安裝有第一控制閥，取樣口的外部分別安裝有氮氣通入管和尾氣排放管，此液體氯硅烷取樣裝置通過取樣口與儲液盒的快速卡接便于對儲液盒的快速更換，通過刻度線與透明觀察窗的配合設置便于控制取樣量，避免了過量取樣多少導致再次取樣的情況，同時也避免了因過量取樣造成對氯硅烷的浪費，通過處理池的設置便于對尾氣進行處理，避免了尾氣排出對環(huán)境造成污染。