連續(xù)精餾法生產電子級六氯二硅烷的方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011501755.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112479213A | 公開（公告）日 | 2021-03-12 |
| 申請公布號 | CN112479213A | 申請公布日 | 2021-03-12 |
| 分類號 | C01B33/107(2006.01)I | 分類 | 無機化學; |
| 發(fā)明人 | 何壽林;羅全安 | 申請（專利權）人 | 武漢新硅科技潛江有限公司 |
| 代理機構 | 武漢江楚智匯知識產權代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 鄧寅杰 |
| 地址 | 433100湖北省潛江市經濟開發(fā)區(qū)鹽化一路西37號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種連續(xù)精餾法生產電子級六氯二硅烷的方法，包括以下步驟：S1：以多晶硅廢料為原料生產六氯二硅烷粗料的步驟，所述六氯二硅烷粗料純度75?85％；S2：以六氯二硅烷粗料為原料生產電子級六氯二硅烷的步驟。使用本發(fā)明方法生產電子級六氯二硅烷，能生產出純度99.95％以上，以金屬元素含量計算純度達到99.999?99.99999％的高純產品，達到歐美市場的要求，且工藝簡單。?? |
