連續(xù)精餾法生產(chǎn)電子級(jí)六氯二硅烷的方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011501755.1 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN112479213A | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-03-12 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN112479213A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-12 |
分類號(hào) | C01B33/107(2006.01)I | 分類 | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
發(fā)明人 | 何壽林;羅全安 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 武漢新硅科技潛江有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 武漢江楚智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 鄧寅杰 |
地址 | 433100湖北省潛江市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)鹽化一路西37號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種連續(xù)精餾法生產(chǎn)電子級(jí)六氯二硅烷的方法,包括以下步驟:S1:以多晶硅廢料為原料生產(chǎn)六氯二硅烷粗料的步驟,所述六氯二硅烷粗料純度75?85%;S2:以六氯二硅烷粗料為原料生產(chǎn)電子級(jí)六氯二硅烷的步驟。使用本發(fā)明方法生產(chǎn)電子級(jí)六氯二硅烷,能生產(chǎn)出純度99.95%以上,以金屬元素含量計(jì)算純度達(dá)到99.999?99.99999%的高純產(chǎn)品,達(dá)到歐美市場(chǎng)的要求,且工藝簡(jiǎn)單。?? |
