連續(xù)精餾法生產(chǎn)電子級(jí)六氯二硅烷的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011501755.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN112479213A 公開(kāi)(公告)日 2021-03-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN112479213A 申請(qǐng)公布日 2021-03-12
分類號(hào) C01B33/107(2006.01)I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 何壽林;羅全安 申請(qǐng)(專利權(quán))人 武漢新硅科技潛江有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢江楚智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 鄧寅杰
地址 433100湖北省潛江市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)鹽化一路西37號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種連續(xù)精餾法生產(chǎn)電子級(jí)六氯二硅烷的方法,包括以下步驟:S1:以多晶硅廢料為原料生產(chǎn)六氯二硅烷粗料的步驟,所述六氯二硅烷粗料純度75?85%;S2:以六氯二硅烷粗料為原料生產(chǎn)電子級(jí)六氯二硅烷的步驟。使用本發(fā)明方法生產(chǎn)電子級(jí)六氯二硅烷,能生產(chǎn)出純度99.95%以上,以金屬元素含量計(jì)算純度達(dá)到99.999?99.99999%的高純產(chǎn)品,達(dá)到歐美市場(chǎng)的要求,且工藝簡(jiǎn)單。??