一種半導(dǎo)體級(jí)單晶硅晶棒定向測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911194577.X 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN111059992B 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號(hào) CN111059992B 申請公布日 2021-11-16
分類號(hào) G01B5/24（2006.01）I;C30B33/06（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C23C18/34（2006.01）I;C22C1/02（2006.01）I;C22C1/06（2006.01）I;C22C21/08（2006.01）I;C22C21/10（2006.01）I;C22F1/047（2006.01）I;C22F1/053（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 梁鳳麗 申請（專利權(quán)）人 江蘇明納半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華仁聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 國紅
地址 224700 江蘇省鹽城市建湖縣高新區(qū)經(jīng)六路智慧產(chǎn)業(yè)園A區(qū)3#樓3-4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體級(jí)單晶硅晶棒定向測試裝置，包括柜體，所述柜體底面靠近四個(gè)頂角的位置處設(shè)置有移動(dòng)滾輪，所述柜體前端面靠近頂部的位置處設(shè)置有書寫板，所述柜體頂面靠近左、右兩側(cè)的位置處設(shè)置有支撐塊，所述支撐塊頂面之間靠近頂部的位置處設(shè)置有固定橫桿，所述固定橫桿中間的位置處設(shè)置有測量裝置；本裝置可以更換測量蓋板和輔助蓋板，來滿足不同直徑的硅晶棒，同時(shí)在測量的過程中只需觀察連接板的狀態(tài)，操作比較簡單，同時(shí)方便記錄，在底部設(shè)置有移動(dòng)滾輪，方便移動(dòng)，本裝置的結(jié)構(gòu)較為簡單，成本較為低廉，適合推廣使用。所述固定橫桿由耐磨鋁合金材料按常規(guī)工藝制備而成，具有較好的硬度、耐磨性等優(yōu)點(diǎn)。