一種應(yīng)用于鋁基基材的Y3Al5O12涂層的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410590041.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105624602A 公開(kāi)（公告）日 2016-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN105624602A 申請(qǐng)公布日 2016-06-01
分類(lèi)號(hào) C23C4/12(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王文東;夏洋;劉金虎 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京美橋電子設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 劉杰
地址 102202 北京市昌平區(qū)馬池口鎮(zhèn)北京水泥廠北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體刻蝕工藝腔室內(nèi)表面防蝕處理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于鋁基基材的Y3Al5O12涂層的制備方法。所述制備方法，包括如下步驟：選擇Y3Al5O12粉末；通過(guò)等離子噴涂設(shè)備在待噴涂的鋁基基材的表面噴涂碳化鉻或氮化鉻涂層；通過(guò)等離子噴涂設(shè)備在所述碳化鉻或氮化鉻涂層的表面噴涂Y3Al5O12，制備出Y3Al5O12涂層。本發(fā)明在鋁基基材和Y3Al5O12涂層之間加入碳化鉻或氮化鉻的粘結(jié)相，可以在Y3Al5O12涂層與鋁基基材之間起到很好的過(guò)渡作用，有效緩解Y3Al5O12涂層與鋁基基材的界面應(yīng)力，增大界面結(jié)合強(qiáng)度。