一種應(yīng)用于石英基材的碳化硼涂層的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310695413.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104711504A 公開(kāi)（公告）日 2015-06-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN104711504A 申請(qǐng)公布日 2015-06-17
分類(lèi)號(hào) C23C4/10(2006.01)I;C23C14/48(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王文東;夏洋;李楠 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京美橋電子設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所;北京美橋電子設(shè)備有限公司
地址 100029 北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體刻蝕機(jī)內(nèi)襯及石英表面防蝕處理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于石英基材的碳化硼涂層的制備方法。所述制備方法，包括如下步驟：步驟（1），選擇碳化硼粉末，并將碳化硼粉末送入等離子噴涂設(shè)備；步驟（2），對(duì)待噴涂的石英基材的表面進(jìn)行Ti離子注入處理，然后使用丙酮和無(wú)水乙醇對(duì)石英基材的表面進(jìn)行清洗；步驟（3），通過(guò)等離子噴涂設(shè)備在石英基材的表面進(jìn)行等離子噴涂，制備出碳化硼涂層。本發(fā)明在石英基材表面進(jìn)行Ti離子注入處理，增大了石英基材表面的粗糙度，從而可以提高碳化硼涂層與石英基材之間的界面結(jié)合強(qiáng)度。