一種應(yīng)用于石英基材的碳化硼梯度涂層及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310693535.7 申請日 -
公開（公告）號 CN104711503B 公開（公告）日 2018-06-26
申請公布號 CN104711503B 申請公布日 2018-06-26
分類號 C23C4/10;B22F1/00 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王文東;夏洋;李楠 申請（專利權(quán)）人 北京美橋電子設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 劉杰
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體刻蝕機(jī)內(nèi)襯及石英表面防蝕處理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于石英基材的碳化硼梯度涂層。所述涂層，包括依次噴涂在石英基材表面的第一涂層，由第一百分含量的二氧化硅粉末和第二百分含量的碳化硼粉末混合噴涂而成，第一百分含量和第二百分含量之和為100%；第二涂層，由第三百分含量的二氧化硅粉末和第四百分含量的碳化硼粉末混合噴涂而成，第三百分含量和第四百分含量之和為100%；碳化硼涂層，為純碳化硼粉末噴涂而成；第三百分含量小于第一百分含量。本發(fā)明還涉及一種所述梯度涂層的制備方法。本發(fā)明的梯度涂層組分和結(jié)構(gòu)的梯度變化可以降低或消除界面、物性突變和界面應(yīng)力，提高石英基材和碳化硼涂層界面結(jié)合強(qiáng)度。