一種抗靜電半導體芯片切割保護膜

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110106256.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112795323A 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN112795323A 申請公布日 2021-05-14
分類號 C09J7/24;C09J7/30;C09J7/50;C09J133/04;C09J9/02;C09D175/04;C09D5/24;C09D183/04;C08J7/044;C08L27/06 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 陸揚;景海全 申請（專利權）人 東莞市清鴻新材料科技有限公司
代理機構 北京瑞盛銘杰知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 黃淑娟
地址 523843 廣東省東莞市長安鎮(zhèn)長安長青南路1號8棟4106室02室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了芯片切割保護膜技術領域，具體領域為一種抗靜電半導體芯片切割保護膜，包括抗靜電離型涂層、PVC藍膜，藍膜保護底涂和抗靜電亞克力膠層，具有柔韌性好，耐高溫，易于晶圓擴晶、晶圓切割，在擴晶和切割中能消除摩擦產生的靜電，其中藍膜保護底涂的設置，能夠一定程度上防止PVC藍膜中增塑劑析出滲入膠層，提高PVC藍膜耐高溫和耐溶劑性，且使PVC藍膜不易收縮，抗靜電亞克力膠層剝離強度穩(wěn)定且耐高溫180℃，抗靜電。使用PVC藍膜能醒目、有效識別該保護膜，方便使用。本發(fā)明保護膜，總厚度為80±2um，剝離強度為100±20gf/inch，不殘膠，抗靜電阻值106～109Ω，離型力20gf/inch。