一種壓電諧振器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201721512611.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN207339804U 公開（公告）日 2018-05-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN207339804U 申請(qǐng)公布日 2018-05-08
分類號(hào) H03H9/15;H03H3/04;H03H3/10 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 何軍;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開姓名 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽云塔電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 安徽云塔電子科技有限公司
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號(hào)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二期F1棟22層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種壓電諧振器。其中，壓電諧振器包括：襯底，所述襯底的上表面形成有一凹槽；第一壓電層，覆蓋于所述襯底的上表面以及所述凹槽的開口，以使所述凹槽與所述第一壓電層形成空腔；第一電極和溫度補(bǔ)償層，設(shè)置在所述第一壓電層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)，在垂直于所述襯底的方向上，所述第一電極在所述襯底上的投影位于所述凹槽所在的區(qū)域。本實(shí)用新型實(shí)施例通過在襯底的上表面形成有一凹槽，使凹槽與第一壓電層形成空腔，可以有效避免了聲波能量泄漏到襯底中，降低了聲波能量在襯底中的損耗，可得到高Q值的壓電諧振器；并且設(shè)置的溫度補(bǔ)償層的投影位于空腔的區(qū)域內(nèi)，可以有效改善溫度補(bǔ)償效率。